Industrieel dubbelkopspincoatingsysteem voor productie met een hoge doorvoer

Ditaanpasbare spincoater met twee stationsis ontworpen voor dunnefilmafzetting met hoge doorvoer op substraten zoals siliciumwafels, glas en polymeerfilms. Beschikbaar binnenonderzoek,cleanroom, Enindustriële productieconfiguraties. Het systeem isvolledig aanpasbaarin spantanggrootte, centrifugeersnelheidsbereik, aantal programmastappen en doseermethode. Twee onafhankelijke stations maken gelijktijdige of afwisselende werking mogelijk - het ene station kan coaten terwijl het andere wordt geladen/gelost, waardoor de productiviteit dramatisch toeneemt. Ideaal voor fotolakcoating, sol-gel-afzetting en barrièrelaagtoepassingen in de halfgeleider-, MEMS-, optica- en gedrukte elektronica-industrie.

• Halfgeleider: Fotoresistcoating op siliciumwafels, MEMS-apparaten
• Opto-elektronica: Dunnefilmdepositie voor LED's, zonnecellen, platte beeldschermen
• Materiaalkunde: Sol-gel-, polymeer- en nanocomposietcoatings
• Biomedisch: Fabricage van biosensoren en microfluïdische apparaten
• Gedrukte elektronica: Geleidende inktafzetting op flexibele substraten
• Verpakking: Barrièrecoating op voedselcontainers en papierproducten

Deze spincoater met twee stations is dat welzeer aanpasbaarom aan uw specifieke toepassingsvereisten te voldoen:

• Ontwerp en maat van de boorkop: Op maat gemaakte vacuümklauwplaten voor substraten van 10 mm tot 450 mm
• Toerentalbereik: Uitbreidbaar tot 15.000 rpm voor ultradunne filmtoepassingen
• Aantal stations: Uitbreidbaar tot 3 of 4 stations voor multi-batchverwerking
• Doseersysteem: Handmatig, semi-automatisch of volledig geautomatiseerd met servogestuurde pompen
• Milieucontrole: Cleanroom (klasse 10-100.000), zuivering met inert gas, vochtigheidsregeling
• Thermische integratie: Ingebouwde verwarmingsplaat (tot 300°C) of UV-uithardingsmodule
• Automatisering: Robotachtig laden/lossen, transportbandintegratie, batchverwerking
• Materiaal behuizing: Oplosmiddelbestendig PTFE, roestvrij staal of explosieveilig ontwerp

• Parallelle verwerking: Twee stations werken onafhankelijk van elkaar: coaten en laden tegelijkertijd, waardoor de doorvoer verdubbelt ten opzichte van units met één station
• Onafhankelijke receptcontrole: Elk station voert gelijktijdig verschillende materialen of spinparameters uit
• Hoge precisie: Borstelloze DC- of servomotor met ±1 rpm stabiliteit voor uitzonderlijke uniformiteit
• Chemisch bestendige kamer: Roestvrijstalen constructie met oplosmiddelbestendige coating voor compatibiliteit met cleanrooms
• Veiligheidsvergrendelingen: Dekselvergrendeling en noodstop op elk station
• Traceerbaarheid van gegevens: Receptopslag, realtime monitoring, USB/Ethernet-export (optioneel)
• Weinig onderhoud: Trillingsvrij ontwerp met afgedichte lagers

• Gratis procesadvies en materiaaltesten (stuur ons uw substraten)
• Installatie, kalibratie en operatortraining op locatie
• 12 maanden garantie op alle componenten, levenslange technische ondersteuning
• Beschikbaarheid van reserveonderdelen (klauwplaten, pompen, motoren) binnen 48 uur
• Probleemoplossing op afstand via videogesprek of IoT-monitoring (aanpasbaar)

• Verpakking: Antistatisch schuim + versterkte multiplex behuizing (met droogmiddel voor vochtgevoelige componenten)
• Verzending: FOB Shanghai / CIF over zee, door de lucht of per spoor. Doorlooptijd: 15-30 dagen na bevestiging van de aanpassing (langer voor aangepaste klauwplaten of automatiseringsintegratie)

A: Een machine met twee stations deelt één besturingssysteem en footprint, terwijl één operator het ene station kan laden/lossen terwijl het andere aan het coaten is, waardoor stilstand wordt geëlimineerd. Dit resulteert in een lagere totale investering, kleinere laboratoriumruimte en een hogere doorvoer.

EEN: Ja. Elk station heeft onafhankelijke programmeerbare bedieningselementen, waardoor u tegelijkertijd verschillende materialen of substraatgroottes kunt coaten zonder kruisbesmetting.

A: Chucks zijn dat welaanpasbaarop basis van uw substraatafmetingen en materiaal. Wij bieden standaard klauwplaten voor ronde wafels (2"-12") enop maat gemaakte klauwplatenvoor vierkante, rechthoekige of onregelmatige ondergronden.