Industriële excimer laserverwerkingssysteem. Flexible productielijnintegratie en volledig aanpasbare parameters.
Industrieel excimerlasersysteem
,Productielijn voor flexibele excimerlasers
,Aanpasbare parameters van de UV-coatingsmachine
Dit industriële excimerlaserverwerkingssysteem is ontworpen voor de microfabricatie van hoge precisie, het gluren van halfgeleiders en het maken van dunne films.Het ondersteunt volledige integratie in geautomatiseerde productielijnen met realtime monitoringHet systeem is voorzien van een gasverzegelde excimerbron met lange levensduur optica en AI-geassisteerde procescontrole.
- Excimerlaserbron
- Beamforming & homogenisatie module
- High-speed XY scanning stage of masker projectie eenheid
- Inline substraatbehandelingsrobot (aanpasbare spoorbreedte)
- Systemen voor het beheer van uitlaatgassen en gassen
- Procesbesturingscomputer met receptbeheerder
| Parameter | Waardebereik (standaard) | Aanpassingsoptie |
|---|---|---|
| Waallengte | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Multi-golflengte schakelaar (op maat) |
| Maximale pulsenergie | 0.5 - 1200 mJ | Tot 2000 mJ (aanpassing) |
| Pulsfrequentie | 1 - 6000 Hz | tot en met 10 kHz (op maat) |
| Gemiddeld vermogen | 5 - 300 W | Aanpasbare schaal beschikbaar |
| Grootte van het lichtbundel (uitgang) | 10 × 10 mm | Rechthoekige balk tot 50×50 mm (op maat) |
| Homogeniteit van de balk | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optisch op maat) |
| Integratie van de productielijn | SMEMA/SECS/GEM | Gepaste PLC-protocol (gepaste) |
- Siliciumoplossing voor geavanceerde displays (LTPS)
- MEMS & halfgeleider wafer snijden
- Activering van het polymeeroppervlak
- Micro-structurering van medische hulpmiddelen
- Flexibel PCB-boren
We biedenVolledige aanpassingDe Commissie heeft de Commissie verzocht om een verslag uit te brengen over de resultaten van de evaluatie van de in het kader van het onderzoek verrichte werkzaamheden in het kader van het programma voor onderzoek en technologische ontwikkeling.Op aanvraag zijn ook op maat gemaakte straalleveringsarmen en klasse 1-behuizingen beschikbaar.
- > 2000 uur levensduur van het gas (geoptimaliseerd gasmengsel)
- Ingebouwde energiestabilisatie (feedback in realtime)
- Diagnose op afstand en predictief onderhoud
- Een lage eigendomskosten (LOO) met omloopgasbesparende modus
- Compact modulair ontwerp voor snelle lijnreconfiguratie
- 24/7 technische ondersteuning (telefoon/op afstand)
- Installatie ter plaatse en integratie van de productielijn
- Op maat gemaakte training voor uw ingenieurs
- Verlengde garantie tot 5 jaar
- Programma voor het opknappen en herstellen van gas
- Verzegeld in een vochtbeheerde, schokdempende container
- Vacuümverzegelde optische doos
- Verzending per lucht- of zeevervoer met realtime-tracking
- Exportkisten voldoen aan de ISPM-15-norm