|
Productdetails:
|
| Spanning: | Als de vraag van de klant | Transportsnelheid: | 25 ~ 80m/min |
|---|---|---|---|
| Hoofdmotorvermogen: | 1,5 kW | Effectieve nivelatiebreedte: | 920 mm |
| Coatingmateriaal: | Diverse materialen | UVlamptype: | Kwiklamp |
| Vouwfout terugspoelen: | ±0,1 mm | Droogtype: | IR-droging |
| Markeren: | Industrieel excimerlasersysteem,Productielijn voor flexibele excimerlasers,Aanpasbare parameters van de UV-coatingsmachine |
||
Dit industriële excimerlaserverwerkingssysteem is ontworpen voor de microfabricatie van hoge precisie, het gluren van halfgeleiders en het maken van dunne films.Het ondersteunt volledige integratie in geautomatiseerde productielijnen met realtime monitoringHet systeem is voorzien van een gasverzegelde excimerbron met lange levensduur optica en AI-geassisteerde procescontrole.
| Parameter | Waardebereik (standaard) | Aanpassingsoptie |
|---|---|---|
| Waallengte | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Multi-golflengte schakelaar (op maat) |
| Maximale pulsenergie | 0.5 - 1200 mJ | Tot 2000 mJ (aanpassing) |
| Pulsfrequentie | 1 - 6000 Hz | tot en met 10 kHz (op maat) |
| Gemiddeld vermogen | 5 - 300 W | Aanpasbare schaal beschikbaar |
| Grootte van het lichtbundel (uitgang) | 10 × 10 mm | Rechthoekige balk tot 50×50 mm (op maat) |
| Homogeniteit van de balk | < ± 3% (σ) | < ± 1% (optisch op maat) |
| Integratie van de productielijn | SMEMA/SECS/GEM | Gepaste PLC-protocol (gepaste) |
We biedenVolledige aanpassingDe Commissie heeft de Commissie verzocht om een verslag uit te brengen over de resultaten van de evaluatie van de in het kader van het onderzoek verrichte werkzaamheden in het kader van het programma voor onderzoek en technologische ontwikkeling.Op aanvraag zijn ook op maat gemaakte straalleveringsarmen en klasse 1-behuizingen beschikbaar.
Contactpersoon: Mr. Zhang guoxin
Tel.: +86 13926890692
Fax: 86-769-88120350