Automatisch spincoatingsysteem met hoge doorvoer en 24 posities – voor wafer-, glas- en OLED-substraten – aanpasbare dosering
Productdetails:
| Plaats van herkomst: | China |
| Merknaam: | OSMANUV |
| Certificering: | ISO9001 |
| Modelnummer: | Specificatie |
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
| Min. bestelaantal: | 1 Instellen |
|---|---|
| Prijs: | Bespreekbaar |
| Verpakking Details: | Houten verpakking |
| Levertijd: | 30-45 dagen |
| Betalingscondities: | T/T |
| Levering vermogen: | Onderhandeling |
|
Gedetailleerde informatie |
|||
| Gewicht: | Netto gewicht: 150 kg; Bruto gewicht: 160 kg | Productienaam: | Spincoatinglijn met 24 stations |
|---|---|---|---|
| Coating manier: | Spin-coating | Toepassingstype: | Industrieel |
| Materiaal: | pulp | Controle-interface: | Een 7-inch nylon touchscreen |
| Veiligheidsvoorzieningen: | Noodstop, overbelastingsbeveiliging | Belangrijkste verkoopargumenten: | Gevormde coating van pulp |
Productomschrijving
Automatisch spinsysteem met een hoge doorlaatkracht van 24 posities voor wafers, glas en OLED-substraten
Productoverzicht
De24-station Spin Coateris een dunfilmcoatingsysteem met een hoge doorvoerkracht dat is ontworpen voor een uniforme afzetting van fotoresisten, polymeren, sol-gel en nanodeeltjes op wafers, glassubstraten of schijven.Elk station kan onafhankelijk worden geprogrammeerd of in batchmodus worden uitgevoerd.
De machine is volledig aanpasbaar.- de stationsopstelling, de profielen van de rotatiesnelheid, de afgiftewijze, het materiaal van de schaal en het uitlaatontwerp - voor de R & D, de proeflijn of de productieomgeving.
Technische parameters
| Parameter | Standaardwaarde | Aanpasbaar bereik |
|---|---|---|
| Aantal stations | 24 | 12 / 16 / 24aanpasbaar |
| Maximale substraaddiameter | 8 inch (200 mm) | tot 300 mmaanpasbaar |
| Versnellingsbereik | 100 tot 8000 RPM | 1 - 12000 RPMaanpasbaar |
| Snelheidsnauwkeurigheid | ± 1 RPM | ±0,5 RPMaanpasbaar(gesloten kringloop) |
| Versnellingsbereik | 100 - 20000 RPM/s | Aanpasbaarvia software |
| Programmeerbare stappen | 10 stappen per recept | Aanpasbaar(onbeperkt via pc) |
| Receptopslag | 100 recepten (op HMI) | Aanpasbaar(netwerkstation / cloud) |
| Soorten uitkering | Static, dynamisch, lijn, spiraal | Aanpasbaarschermpatroon en timing van het spuitstuk |
| Materiaal van de schaal | Polypropyleen (PP) | PTFE / roestvrij staal / glasaanpasbaar |
| Type vacuümschok | Eén gat in het midden | Multi-zone / randgreepaanpasbaar |
| Uitlaatgasstroom | 60 m3/h per station | Aanpasbaaraan de vereisten van de cleanroom |
| Stroomvoorziening | 220V / 50Hz (enkelfase) | 110V - 240V, 50/60Hzaanpasbaar |
Toepassingen
- halfgeleider / MEMS- lichtbestendige coating voor wafers (2" tot 8")
- Vervaardiging van OLED/display- afzetting van de polymeerlaag
- Universiteits- en onderzoekslaboratoria- materialenwetenschappen, sol-gelfilms
- Bescherming van medische hulpmiddelen- bio-compatibele films
- Aanpasbaar voor: perovskiet zonnecellen, koolstofnanobuisdepositie, dikfilmpasta's
Belangrijkste kenmerken
- Batch- of onafhankelijke stationsoperatie- elk station kan verschillende recepten gebruiken
- RPM-regeling in gesloten lus- handhaaft de snelheid onder verschillende belastingen
- Verwijdering van randkralen (EBR)facultatief op geselecteerde stations
- Synchronisatie met automatische afgiftemet een spinversnellingsprofiel
- Vacuümgevoel & interlock- verhindert draaien zonder een goed chuck vacuüm
- Touchscreen-interfacemet real-time snelheid/tijd/stap weergave
Aanpassingsopties
Alle modellen ondersteunenVolledige aanpassing:
- Aantal stations (tot 48 in tweeledige configuratie)
- Type roterende motor (borstelloze gelijkstroom / servo / lucht aangedreven)
- Automatisering van de afgifte (spuitpomp / peristaltische / onder druk gelegde tank)
- Milieubeheersing (temperatuur / vochtigheid / inertgaszuivering)
- Compatibiliteit met schoonruimte (klasse 10 tot en met klasse 100.000 -aanpasbaar)
- SECS/GEM- of RS232-gegevensexport voor productie-uitvoeringssystemen
Ondersteuning en diensten
- 24 maanden garantie op elektronica, 12 maanden op motoren
- Levenslang telefonische / e-mail / WhatsApp technische ondersteuning
- Opleiding en installatie ter plaatse (voor industriële modellen)
- Onderdelen wereldwijd verzonden binnen 48 uur
- Ingenieursondersteuning op maat(CAD-tekeningen + PLC-code) inbegrepen
Verpakking en verzending
- Verpakking: antistatische vacuümzak + schuimbevestiging + versterkte exportkarton (bankmodellen) of triplexkast (vloermodellen)
- Verzendingsmethoden: DHL/FedEx (kleine eenheden), zeevracht (FOB/CIF), luchtvracht
- Levertyd: 20 - 45 dagen op basis vanaanpassingsniveau
Vaak gestelde vragen
V: Kunnen alle 24 stations tegelijkertijd met verschillende snelheden rijden?
A: Ja en nee - In de onafhankelijke motor versie (hogere kosten), ja. In de gedeelde aandrijving versie, allemaal lopen dezelfde snelheid, maar kan verschillende dispensatie timing hebben -aanpasbaaraan uw behoefte.
V: Wat is de minimale grootte van het substraat die de chuck kan bevatten?
Voor kleinere stukjes (1 cm × 1 cm) kunnen weaanpassenvacuümschroeven met verminderde vacuümzones.
V: Kan ik deze coating gebruiken voor hoogviscositeitsmaterialen (zoals SU-8 of dikke fotoresist)?
A: Ja, dat kan.aanpassenhet koppel van de motor en de spuitstuk voor de afgifte (grootere afmeting) voor toepassingen met een hoge viscositeit.
Wilt u meer details over dit product weten







