24-positie roterende spincoater met aanpasbare substraatgroottes en programmeerbare spinprofielen voor dunnefilmdepositie met een hoog doorlaatvermogen
Roterende spincoater met 24 posities
,programmeerbare spincoater voor depositie van dunne films
,aanpasbare spincoater van substraatgrootte
Deze spincoater met 24 stations is ontworpen voor dunnefilmdepositie met hoge doorvoer van fotoresist, polymeren, nanodeeltjes en sol-gelmaterialen. Elk station werkt onafhankelijk of synchroon. Het systeem ondersteunt aanpasbare spinprofielen (versnelling, duur, snelheid) voor elk station, waardoor het ideaal is voor zowel R&D- als productieomgevingen.
| Parameter | Waarde / Bereik | Aanpassingsoptie |
|---|---|---|
| Aantal stations | 24 | ✔ Aanpasbaar (16/24/32 stations) |
| Substraatgrootte | Tot 12" wafer of paneel van 300×300 mm | ✔ Aanpasbare boorkopgrootte |
| Toerentalbereik | 100 - 12.000 tpm | ✔ Programmeerbaar per station |
| Snelheidsnauwkeurigheid | ±1 tpm | - |
| Acceleratiebereik | 100 - 10.000 tpm/s | ✔ Instelbaar per recept |
| Draaitijdbereik | 1 - 999 sec/stap | ✔ Aanpasbare stappen |
| Doseervolume | 0,1 - 20 ml per spuitmondje | ✔ Aanpasbaar mondstuktype |
| Motortype | Borstelloze DC-servo | - |
| Uniformiteit van de coating | ±3% (over 24 stations) | ✔ Opwaardeerbaar tot ±1% |
| Uitlaatstroom | 150 - 500 m³/u | ✔ Aanpasbare uitlaatinterface |
| Voeding | 220V / 50-60 Hz / 3,5 kW | ✔ Aanpasbare spanning |
| Afmetingen (L×B×H) | 1800×1200×900 mm | ✔ Aanpasbare voetafdruk |
| Gewicht | 520 kg | - |
- Halfgeleiderwafelcoating (fotoresist)
- Fabricage van OLED- en perovskietzonnecellen
- Biochip- en polymeerfilmvoorbereiding
- Anti-reflecterende coating voor optiek
- Depositie van nanomateriaal (grafeen, kwantumdots)
- R&D-screening in meerdere omstandigheden (24 verschillende parameters tegelijkertijd)
Wij bieden volledig maatwerk:
- Aantal stations:8 / 12 / 16 / 24 / 32 stations
- Vorm en grootte van het substraat:ronde wafels, vierkante panelen, onregelmatige substraten
- Doseersysteem:enkele naald, multi-nozzle, spray of inkjet
- Omgevingscontrole:vochtigheid, temperatuur, deeltjesfiltratie
- Automatiseringsniveau:handmatig laden, semi-automatisch, volledige inline-integratie
- Software:aangepaste receptstructuur, barcodescanning, gegevensexport naar MES
- Installatie en training op locatie
- Standaardgarantie van 18 maanden (uitbreidbaar)
- Foutopsporing op afstand en IoT-ondersteuningsoptie
- Jaarlijkse kalibratie en preventief onderhoudsplan
- Levering van reserveonderdelen gedurende ≥10 jaar
- Ondersteuning voor softwareontwikkeling op maat
- Verpakking:Antistatisch vacuümverzegeld + multiplex exportkoffer (schokbestendig, vochtbestendig)
- Verzendmethode:FOB / CIF over zee, door de lucht (express optioneel voor benchtop-units)
- Doorlooptijd:30-45 werkdagen na orderbevestiging (maatwerk voegt 15 dagen toe)
- Documenten inbegrepen:Gebruikershandleiding, kalibratiecertificaat, CE-verklaring