logo
vr
Kwaliteit Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging fabriek
<
Kwaliteit Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging fabriek
Kwaliteit Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging fabriek
Kwaliteit Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging fabriek
Kwaliteit Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging fabriek
Kwaliteit Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging fabriek
>

Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging

Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging
VOLAUTOMATISCHE 24-SPIN PROCESSOR VAN R&D TOT PRODUCTIE | AANPASBARE DOSEER- EN DRAAISNELHEIDDitSpincoater met 24 stationsis ontworpen voor geautomatiseerde dunne-filmdepositie met hoge doorvoer. Elk van de 24 onafhankelijke coatingposities kan worden geladen met substraten met een diameter tot 200 ...
Place of Origin:China
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:Specificatie
Minimum Order Quantity:1 Instellen
Price:Bespreekbaar
Product Custom Attributes
Markeren

Volautomatische spincoater

,

pulpvormcoater met 24 stations

,

aanpasbare spincoater met dosering

Duurzaamheid van de coating:
Hoge duurzaamheid
Lichtbron:
IR -licht
Gebruik:
Papieren printer Labelprinter Kaartprinter
Dikte van de coating:
verstelbaar
Model:
OSM-XT-450T
Productiecapaciteit:
4800 pcs/8h
belangrijkste verkoopargumenten:
Gevormde coating van pulp
Werkende kracht:
2,4 kW
Product Description
VOLAUTOMATISCHE 24-SPIN PROCESSOR VAN R&D TOT PRODUCTIE | AANPASBARE DOSEER- EN DRAAISNELHEID
DitSpincoater met 24 stationsis ontworpen voor geautomatiseerde dunne-filmdepositie met hoge doorvoer. Elk van de 24 onafhankelijke coatingposities kan worden geladen met substraten met een diameter tot 200 mm (of 156×156 mm in het vierkant). Het systeem voltooit achtereenvolgens de stappen voor doseren, versnellen, draaien en verwijderen van de randrand via aaanpasbare receptendatabase.
Belangrijkste voordelen
  • Geen kruisbesmetting- individuele kommen en uitlaat voor elk station
  • Hoge uniformiteit< ±3% bij 3000 tpm over alle stations
  • Volledig maatwerk- substraatmateriaal (Si, glas, polymeer, metaal), gaszuivering (N₂, schone droge lucht) en spoelstappen na het centrifugeren
Technische parameters
ParameterStandaard waardeAanpasbaar bereik
Aantal stations2412 / 16 / 24 / 32 (aanpasbaar)
Maximale substraatgrootte200 mm diameter of 156×156 mm vierkant50 - 300 mm (aanpasbare boorkop)
Toerentalbereik0 - 6000 tpm0 - 10.000 tpm
Snelheidsnauwkeurigheid±1 tpm--
Spin-versnelling200 - 10.000 tpm/saanpasbaar tot 20.000 tpm/s
Uniformiteit van de coating< ±3% bij 3000 tpm±2% beschikbaar
Procesgassen1 kanaal (N₂)2 - 4 gaskanalen (aanpasbaar)
Soorten doseringStatisch / dynamischMaximaal 3 doseerstappen per recept
Uitlaatstroom per station45 m³/u30 - 80 m³/u (aanpasbaar)
OmgevingCompatibel met cleanrooms van klasse 10Klasse 1 optie
Voeding400V / 50 Hz / 3P208V - 480V (aanpasbaar)
Machineafmetingen (B×D×H)2100 × 1200 × 1900 mmbreedte/diepteaanpasbaar
Integratie van productielijnen
Wanneer de spincoater met 24 stations in een coatinglijn wordt geïntegreerd, werkt deze doorgaans met:
  1. Lader / losser(tijdschrift-naar-tijdschrift of cassette-naar-cassette) -aanpasbare interface
  2. Pre-uitlijningsstation- optionele uitlijning van randen/inkepingen
  3. Spincoater met 24 stations- hoofdeenheid
  4. Randkraalverwijderaar (EBR)- geïntegreerd of apart station
  5. Bakplaat met nacoating- kookplaat of IR (programmeerbaar)
  6. Koelstation- actief of passief
  7. Centraal chemicaliëndoseersysteem- 1-12 flessen met automatische navulling
  8. Uitlaat- en oplosmiddelterugwinningssysteem- aanpasbaar voor fotoresist, PI, PMMA, enz.
Toepassingen
  • Halfgeleider- fotoresistcoating (i-line, KrF, ArF)
  • Perovskiet-zonnecellen- uniforme afzetting over een groot oppervlak
  • OLED/QLED- gateninjectie-/transportlagen
  • MEMS en microfluïdica- SU-8, PDMS, polymeercoatings
  • R&D en pilotlijn- multi-substraat procesontwikkeling
  • Glas/saffier/keramische substraten- vlakvlakvorming
  • Lithiumbatterij- slurrycoating op afscheider of elektrode
Aanpassingsopties
DitDe spincoater met 24 stations is in hoge mate aanpasbaarop de volgende aspecten:
  • Grootte en vorm van het substraat-ronde, vierkante, rechthoekige of aangepaste uitsparingen
  • Chuck-ontwerp- vacuüm, mechanische klem of elektrostatische klem
  • Materiaal kom- PP, PVDF, PTFE of roestvrij staal (voor agressieve oplosmiddelen)
  • Doseer mondstukken- maximaal 3 onafhankelijke sproeiers per station,aanpasbare XY-beweging
  • Procesgassen- N₂, schone droge lucht, Ar of formeergas
  • Spoelen aan de achterkant en verwijderen van randkralen- programmeerbaar
  • Receptenbibliotheek- onbeperkte opslag voor meer dan 1000 aangepaste recepten
  • Interface- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA of Modbus TCP
  • Veiligheid- explosieveilige configuratie voor brandbare oplosmiddelen
Belangrijkste kenmerken
  • Onafhankelijke stationbewaking- elk station volgt de filmdiktetrend en alarmgeschiedenis
  • Actieve dekselvergrendeling- verhindert werking wanneer het deksel van de kom open is
  • Oplosmiddel druppelvanger- vermindert de onderhoudsfrequentie
  • Snel recept downloaden- < 1 sec om alle 24 zenders te wijzigen
  • Gegevensregistratie- CSV-export per station (centrifugesnelheid vs. tijd)
  • Ontwerp met weinig trillingen- < 0,5 µm/s² bij maximale snelheid
  • Energiebesparende modus- uitlaatsnelheid wordt automatisch verlaagd bij stationair draaien
Ondersteuning en diensten
  • Begeleiding bij installatie op afstand- Inclusief videogesprekopstelling
  • 24/7 technische ondersteuning- technisch team op afroep (Engels/Chinees)
  • Opleiding op locatie- optioneel (3 dagen)
  • 12 maanden garantie- verlengbaar tot 36 maanden
  • Beschikbaarheid van reserveonderdelen- 5 jaar gegarandeerd
  • Ondersteuning bij procesontwikkeling- gratis receptoptimalisatie voor uw materiaal
Verpakking en verzending
ItemMethode
VerpakkingVacuümverzegeld + antistatisch schuim + multiplexkrat (VCI-corrosiebescherming)
VerzendtermijnFOB / CIF / DDP (kies bij offerte)
Doorlooptijd45 - 60 werkdagen (op maat: +15 dagen)
Vervoer40' HC container (1 stuk per container) of luchtvracht voor spoedopdrachten
DocumentenHandelsfactuur, paklijst, CE-verklaring, gebruikershandleiding (digitaal + gedrukt)
Veelgestelde vragen
Vraag 1: Kunnen verschillende substraten tegelijkertijd op verschillende stations worden gecoat?
A: Ja, elk station werkt onafhankelijk. Station 1-6 kan bijvoorbeeld 4-inch wafers coaten, terwijl station 7-12 6-inch wafers coaten --volledig aanpasbaar.
Vraag 2: Ondersteunt de machine materialen met een hoge viscositeit (>1000 cP)?
EEN: Ja. Wij biedenaanpasbaarspinmotoren met langzame dosering en hoog koppel (tot 1,5 N*m) voor dikke fotoresist of polyimide.
Vraag 3: Hoe lang duurt het om van de ene fotoresist naar de andere over te schakelen?
A: Met de optioneleaanpasbaar, snel schoon te maken komontwerp, omschakeling < 10 minuten per station. Centrale chemieleidingen kunnen automatisch worden gespoeld.
Related Products