 
|
Volledig automatische 24-station spin coater met aanpasbare afgifte en rotatiesnelheid voor hoge uniformiteit en nul kruisverontreiniging
Productdetails:
| Plaats van herkomst: | China |
| Merknaam: | OSMANUV |
| Certificering: | ISO9001 |
| Modelnummer: | Specificatie |
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
| Min. bestelaantal: | 1 Instellen |
|---|---|
| Prijs: | Bespreekbaar |
| Verpakking Details: | Houten verpakking |
| Levertijd: | 30 dagen |
| Levering vermogen: | Onderhandeling |
|
Gedetailleerde informatie |
|||
| Duurzaamheid van de coating: | Hoge duurzaamheid | Lichtbron: | IR -licht |
|---|---|---|---|
| Gebruik: | Papieren printer Labelprinter Kaartprinter | Dikte van de coating: | verstelbaar |
| Model: | OSM-XT-450T | Productiecapaciteit: | 4800 pcs/8h |
| belangrijkste verkoopargumenten: | Gevormde coating van pulp | Werkende kracht: | 2,4 kW |
| Markeren: | Volautomatische spincoater,pulpvormcoater met 24 stations,aanpasbare spincoater met dosering |
||
Productomschrijving
VOLAUTOMATISCHE 24-SPIN PROCESSOR VAN R&D TOT PRODUCTIE | AANPASBARE DOSEER- EN DRAAISNELHEID
DitSpincoater met 24 stationsis ontworpen voor geautomatiseerde dunne-filmdepositie met hoge doorvoer. Elk van de 24 onafhankelijke coatingposities kan worden geladen met substraten met een diameter tot 200 mm (of 156×156 mm in het vierkant). Het systeem voltooit achtereenvolgens de stappen voor doseren, versnellen, draaien en verwijderen van de randrand via aaanpasbare receptendatabase.
Belangrijkste voordelen
- Geen kruisbesmetting- individuele kommen en uitlaat voor elk station
- Hoge uniformiteit< ±3% bij 3000 tpm over alle stations
- Volledig maatwerk- substraatmateriaal (Si, glas, polymeer, metaal), gaszuivering (N₂, schone droge lucht) en spoelstappen na het centrifugeren
Technische parameters
| Parameter | Standaard waarde | Aanpasbaar bereik |
|---|---|---|
| Aantal stations | 24 | 12 / 16 / 24 / 32 (aanpasbaar) |
| Maximale substraatgrootte | 200 mm diameter of 156×156 mm vierkant | 50 - 300 mm (aanpasbare boorkop) |
| Toerentalbereik | 0 - 6000 tpm | 0 - 10.000 tpm |
| Snelheidsnauwkeurigheid | ±1 tpm | -- |
| Spin-versnelling | 200 - 10.000 tpm/s | aanpasbaar tot 20.000 tpm/s |
| Uniformiteit van de coating | < ±3% bij 3000 tpm | ±2% beschikbaar |
| Procesgassen | 1 kanaal (N₂) | 2 - 4 gaskanalen (aanpasbaar) |
| Soorten dosering | Statisch / dynamisch | Maximaal 3 doseerstappen per recept |
| Uitlaatstroom per station | 45 m³/u | 30 - 80 m³/u (aanpasbaar) |
| Omgeving | Compatibel met cleanrooms van klasse 10 | Klasse 1 optie |
| Voeding | 400V / 50 Hz / 3P | 208V - 480V (aanpasbaar) |
| Machineafmetingen (B×D×H) | 2100 × 1200 × 1900 mm | breedte/diepteaanpasbaar |
Integratie van productielijnen
Wanneer de spincoater met 24 stations in een coatinglijn wordt geïntegreerd, werkt deze doorgaans met:
- Lader / losser(tijdschrift-naar-tijdschrift of cassette-naar-cassette) -aanpasbare interface
- Pre-uitlijningsstation- optionele uitlijning van randen/inkepingen
- Spincoater met 24 stations- hoofdeenheid
- Randkraalverwijderaar (EBR)- geïntegreerd of apart station
- Bakplaat met nacoating- kookplaat of IR (programmeerbaar)
- Koelstation- actief of passief
- Centraal chemicaliëndoseersysteem- 1-12 flessen met automatische navulling
- Uitlaat- en oplosmiddelterugwinningssysteem- aanpasbaar voor fotoresist, PI, PMMA, enz.
Toepassingen
- Halfgeleider- fotoresistcoating (i-line, KrF, ArF)
- Perovskiet-zonnecellen- uniforme afzetting over een groot oppervlak
- OLED/QLED- gateninjectie-/transportlagen
- MEMS en microfluïdica- SU-8, PDMS, polymeercoatings
- R&D en pilotlijn- multi-substraat procesontwikkeling
- Glas/saffier/keramische substraten- vlakvlakvorming
- Lithiumbatterij- slurrycoating op afscheider of elektrode
Aanpassingsopties
DitDe spincoater met 24 stations is in hoge mate aanpasbaarop de volgende aspecten:
- Grootte en vorm van het substraat-ronde, vierkante, rechthoekige of aangepaste uitsparingen
- Chuck-ontwerp- vacuüm, mechanische klem of elektrostatische klem
- Materiaal kom- PP, PVDF, PTFE of roestvrij staal (voor agressieve oplosmiddelen)
- Doseer mondstukken- maximaal 3 onafhankelijke sproeiers per station,aanpasbare XY-beweging
- Procesgassen- N₂, schone droge lucht, Ar of formeergas
- Spoelen aan de achterkant en verwijderen van randkralen- programmeerbaar
- Receptenbibliotheek- onbeperkte opslag voor meer dan 1000 aangepaste recepten
- Interface- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA of Modbus TCP
- Veiligheid- explosieveilige configuratie voor brandbare oplosmiddelen
Belangrijkste kenmerken
- Onafhankelijke stationbewaking- elk station volgt de filmdiktetrend en alarmgeschiedenis
- Actieve dekselvergrendeling- verhindert werking wanneer het deksel van de kom open is
- Oplosmiddel druppelvanger- vermindert de onderhoudsfrequentie
- Snel recept downloaden- < 1 sec om alle 24 zenders te wijzigen
- Gegevensregistratie- CSV-export per station (centrifugesnelheid vs. tijd)
- Ontwerp met weinig trillingen- < 0,5 µm/s² bij maximale snelheid
- Energiebesparende modus- uitlaatsnelheid wordt automatisch verlaagd bij stationair draaien
Ondersteuning en diensten
- Begeleiding bij installatie op afstand- Inclusief videogesprekopstelling
- 24/7 technische ondersteuning- technisch team op afroep (Engels/Chinees)
- Opleiding op locatie- optioneel (3 dagen)
- 12 maanden garantie- verlengbaar tot 36 maanden
- Beschikbaarheid van reserveonderdelen- 5 jaar gegarandeerd
- Ondersteuning bij procesontwikkeling- gratis receptoptimalisatie voor uw materiaal
Verpakking en verzending
| Item | Methode |
|---|---|
| Verpakking | Vacuümverzegeld + antistatisch schuim + multiplexkrat (VCI-corrosiebescherming) |
| Verzendtermijn | FOB / CIF / DDP (kies bij offerte) |
| Doorlooptijd | 45 - 60 werkdagen (op maat: +15 dagen) |
| Vervoer | 40' HC container (1 stuk per container) of luchtvracht voor spoedopdrachten |
| Documenten | Handelsfactuur, paklijst, CE-verklaring, gebruikershandleiding (digitaal + gedrukt) |
Veelgestelde vragen
Vraag 1: Kunnen verschillende substraten tegelijkertijd op verschillende stations worden gecoat?
A: Ja, elk station werkt onafhankelijk. Station 1-6 kan bijvoorbeeld 4-inch wafers coaten, terwijl station 7-12 6-inch wafers coaten --volledig aanpasbaar.
Vraag 2: Ondersteunt de machine materialen met een hoge viscositeit (>1000 cP)?
EEN: Ja. Wij biedenaanpasbaarspinmotoren met langzame dosering en hoog koppel (tot 1,5 N*m) voor dikke fotoresist of polyimide.
Vraag 3: Hoe lang duurt het om van de ene fotoresist naar de andere over te schakelen?
A: Met de optioneleaanpasbaar, snel schoon te maken komontwerp, omschakeling < 10 minuten per station. Centrale chemieleidingen kunnen automatisch worden gespoeld.
Wilt u meer details over dit product weten
