Industriële spincoater met een enkel station met ± 1% gelijkmatigheid

Industriële spincoater met een enkel station met ± 1% gelijkmatigheid

Productbeschrijving

Deze spincoater is ontworpen voor nauwkeurige en uniforme afzetting van fotoresisten, polymeren, sol-gel materialen, nanodeeltjes,en andere functionele vloeistoffen op substraten, variërend van kleine fragmenten tot 8-inch wafersHet systeem maakt gebruik van een hoogstabiele borstelloze gelijkstroommotor met programmeerbare snelheids- en versnellingsprofielen, waardoor herhaalbare dunnefoliecoatingsresultaten worden gewaarborgd.zonnecellen van perovskiet, en optische coating toepassingen.Het systeem is volledig aanpasbaar.in de grootte van de schok, het materiaal van de schaal, de motorspecificaties en de optionele verwarmings- of UV-hardingsmodules.

Samenstelling van de productielijn

1. Spin Coating Main Unit (design met één schaal)

2. Vacuüm Chuck met Substraat Adapter Kit

3. Programmeerbare digitale controller (touchscreen HMI)

4. Olievrije vacuümpomp (≥ 60 l/min)

5. Automatisch of handmatig dispensatiesysteem (spuit/dossier)

6. Afvoer- en afvoerpoortassemblage

7. Nitrogeen-spuitingsinlaat voor motordichtingsbescherming

8. Facultatief: geïntegreerde warmteplaat / UV-hardingsmodule

Technische parameters

Toepassing

• Halfgeleider & MEMS️ fotoresistente coating voor lithografie

• Perovskiet en organische zonnecellen️ dunne film afzetting

• Optische coatings️ Antireflecterende en filterschermen

• Biomedische hulpmiddelenBiopolymeren

• Grafeen en 2D-materialen¢ Eenvormige dispersiecoating

• OLED & Quantum Dots

• Glas- en keramische coatingSol-gel en beschermende lagen

Aanpassing

We biedenVolledige aanpassingmet inbegrip van:

• Vacuümschokgrootte en -vorm (rond / vierkant / fragment, 3 mm tot 450 mm)

• Materiaal van de schaal: PTFE, Teflon®, roestvrij staal of aluminium voor chemische weerstand

• Verbetering van de motor: Servomotor met hogere precisie en uitgebreide snelheidsbereik

• Geïntegreerde modules: Hotplate (tot 300°C), UV-harding (365nm/395nm LED)

• Automatisch dispensatiesysteem: programmeerbare spuitpomp of spuitstuk

• Uitlaatinstallatie: Actieve chemische afvoer met HEPA filter

• Software: Op maat gemaakt receptbeheer, gegevenslogging en afstandsbediening

• Meerdere schalen voor snelle materiaalwisseling zonder kruisbesmetting

Kenmerken

• ± 1% gelijkheid van de filmdikte over het hele substraat

• Instant versnelling tot 30.000 t/s voor scherpe coatingprofielen

• Touchscreen PLC met snelheids- en tijdsweergave in realtime

• Vacuümvergrendeling automatisch stopt als het vacuüm onder de drempel valt

• Ontwerp van een niet-druppel- en spatselbestendige kom

• Stikstofspuiting verlengt de levensduur van de motor en beschermt gevoelige coatings

• Compacte stoelen besparen ruimte in het laboratorium

• ESD-veilige constructie voor gevoelige elektronische materialen

Ondersteuning en diensten

• Gratis bemonsteringscoatingstest met gedetailleerd uniformiteitsverslag

• Installatie ter plaatse en opleiding van de bediener (facultatief)

• 24 maanden garantie op motor en controller

• Levenslange technische ondersteuning via video-oproep / e-mail

• Inbegrepen reserveonderdelenpakket (vacuümdichtingen, O-ringen, zekeringen)

• Vervaardiging op maat van schalen voor niet-standaardsubstraten

Verpakking en verzending

• Verpakking:Antistatisch schuim + vacuümverzegelde zak + versterkt exportplywood

• Vervoer:FOB Shanghai / Shenzhen / Guangzhou

• Levertyd:10 25 werkdagen (afhankelijk van het niveau van aanpassing)

• Verzendingsmethoden:Luchtvracht (voor kleine eenheden), zeevracht (voor industriële systemen), expresskoerier (DHL/FedEx)

Veelgestelde vragen

Q1: Kun je de chuck aanpassen voor een niet-standaard vierkant substraat (100 mm x 100 mm)?
A: Ja.We maken het volledig op maat.elke scheervorm en -grootte, met inbegrip van vierkante, rechthoekige en onregelmatige fragmenten tot 450 mm.

V2: Wat is de minimale en maximale coatingsdikte die kan worden bereikt?
A: Typisch 0,1 μm tot 200 μm, afhankelijk van de viscositeit van het materiaal en de rotatiesnelheid.

Q3: Werkt deze spinnekleding met hoogviscositeitsmaterialen zoals dikke fotoresist?
A: Ja. De servomotoroptie zorgt voor een hoger koppel voor dikke materialen. We kunnen ook de spuitstuk en de pre-spin vertraging aanpassen.