24-Posities Spin Coating Systeem met Slimme Materiaalrecuperatie Aangepaste Chuck Nozzle voor Minimaal Verlies

Deze materiaalbesparende 24-station spin coater is ontworpen om fotoresist, polyimide of voorloper oplossing afval in high-throughput coating lijnen te minimaliseren.In tegenstelling tot conventionele spin coaters die overtollig vocht weggooien, ons systeem integreert aanpasbare edge bead removal (EBR) recycling, lage dead-volume dispensatie lijnen en pre-wet optimalisatie logica om materiaalverbruik te verminderen met 25-40%.

Elk van de 24 stations functioneert met onafhankelijke controle in gesloten kring van het gebruik van de oplossing.vervolgens automatisch de afgifte bedragen per substraat aan te passenIn combinatie met aanpasbare oplosmiddelherstelbakken verzamelt het systeem meer dan 85% van de niet-gesponnen chemische stoffen voor herfiltratie of verwijdering, waardoor de eigendomskosten aanzienlijk worden verlaagd.

Alle 24 stations worden bestuurd door een centrale PLC + HMI, en de eenheid ondersteunt recept-per-station aanpassing - waardoor verschillende materialen, spin curves,en besparingsstrategieën op aangrenzende stations tegelijkertijd.

Wanneer de 24-station spincoater is geïntegreerd in een materiaal-efficiënte coatingslijn, wordt deze gecombineerd met:

1. Systemen voor chemische afgifte met een laag dode volume- 1-12 flessen met < 0,5 ml residu elk
2. Prewet station- gebruik van gerecycled oplosmiddel voor vooraf natte ondergronden (spaart vers materiaal)
3. Spincoater met 24 stations- hoofdeenheid met materiaalbesparende schalen
4. Edelstaafverwijder (EBR) met oplosmiddelherwinning-aanpasbare snijbreedte en snelheid
5. Na-bekleding bakken en koelen- facultatief
6. Eenheid voor chemische recycling- filtratie + opnieuw mengen voor niet-kritieke lagen
7. Uitlaatgas met condensatieval voor oplosmiddelen- herstelt verdampt oplosmiddel (> 70%)

• met een breedte van niet meer dan 50 mm- kosteneffectieve fabrieken (geheugen, logica, energieapparatuur)
• Zonnecellen van perovskiet- dure precursoroplossingen (Pb, organische halogeniden)
• OLED/QLED gatinjectielaag- dure PEDOT:PSS of polymeerinkt
• Pilotlijnen O & O- wanneer de hoeveelheid materiaal beperkt is
• MEMS en microfluïdica- SU-8, BCB en andere dure polymeren
• Lithiumbatterijcoating- besparing van de spuit op de separator of elektrode
• Productielijnen met een chemische coatingkosten > 100 EUR/L

Deze 24-station spin coater is zeer aanpasbaar om de beste grondstof economie te bereiken:

• Type spuitstuk- naald, spleet of spray -aangepast aan de viscositeit van de oplossing
• Logische afgifte van volume- vast, dynamisch of door kunstmatige intelligentie ondersteund minimaal leervolume
• Patroon voor het verwijderen van randkralen (EBR)- positie, breedte, snelheid enoplosmiddelrecycling aan/uit
• Ontwerp van de schaalafvoer- gladde boor versus geribbde - beïnvloedt het herstelpercentage
• Systemen voor het terugwinnen van oplosmiddelen- geïntegreerde distillatie of eenvoudige inzameltrommel
• Materialen voor chemische lijnen- PP, PTFE of roestvrij staal (vermijdt adsorptieverlies)
• Achterkant spoelen- optioneel, met speciale lage-stroom spuitstukken
• Voornat programma- soort oplosmiddel, volume, rotatiesnelheid -volledig aanpasbaar per station
• Rapportage- materiaalverbruik per ploeg/week - aanpasbaar dashboard

• Intelligente detectie van minimaal volume- vermindert automatisch de afgifte met 5% tot de uniformiteit niet is bereikt
• Afvalopsporing in gesloten kringloop- realtime weergave van het opgeslagen materiaal per 1000 substraten
• Vloeistofcollector met een laag dode volume- < 0, 3 ml totale rest (standaard concurrenten: 2-5 ml)
• EBR-oplosmiddelcyclus- gebruikte, gefilterde en hergebruikte randkralenoplosmiddel voor prewet
• Individuele stationskalibratie- het volume van elk mondstuk kan afzonderlijk worden afgesneden
• Alerten voor overbelasting- stopt de lijn als het gebruik van chemische stoffen de drempel van het recept met > 15% overschrijdt
• Optimalisatie van de vacuümschok- beperkt de rand uitsluitingszone tot een minimum, waardoor materiaal op grote ondergronden wordt bespaard
• met een diameter van niet meer dan 15 mm- voorkomt een enkelvoudig verliezen tijdens de index

• Gratis controle van de materiële besparing- we analyseren uw huidige afvalstoffen en schatten uw besparingsmogelijkheden
• 24/7 ondersteuning op afstand- voor het afstemmen en opslaan van de logica
• Kalibratie ter plaatse- facultatief (2 dagen), inclusief mondstukvolume en EBR-patroon
• 12 maanden garantie- verlengd tot 24 maanden als u maandelijkse besparingsgegevens met ons deelt
• Spareonderdelen- snelvervoerprogramma voor sproeiers, kleppen en buizen
• Software-update- nieuwe besparingsalgoritmen die gedurende 2 jaar gratis worden aangeboden